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大科學工程配套真空系統(tǒng)

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其他真空應用設備

蒸銻臺倍增級磁控鍍膜機

倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠實時顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

MPO專用遮光膜鍍膜設備

該設備為高真空電子束蒸鍍設備，即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料，使其氣化并沉積在基片表面；此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金；設備由立式前開門水冷真空室、真空系統(tǒng)、工裝系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、測量及監(jiān)控系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)（機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件）等組成。

多工位真空鍍膜及封接檢測設備

設備可完成光電倍增管高溫真空除氣、陰極激活、陰極轉移、MCP清刷、銦封等多道關鍵制備工序，是多種運動方式同時存在的復雜系統(tǒng)。主要應用于中微子探測試驗、高能物理探測和單光子探測領域。

倍增級磁控鍍膜機

倍增級磁控鍍膜機主要應用于光電倍增管倍增級表面的銻膜鍍制。在膜層制備過程中可實現(xiàn)對光電倍增管的倍增級基底進行烘烤除氣、離子轟擊清潔、膜層沉積和偏電壓輔助、膜厚工藝測試等功能，可進行數(shù)字化編程、程序控制和動態(tài)監(jiān)測，能夠實時顯示、記錄、統(tǒng)計、計算、保存、輸出各種運行數(shù)據，達到精確控制膜厚和沉積均勻性的要求。

MPO專用遮光膜鍍膜設備

該設備為高真空電子束蒸鍍設備，即利用高能量密度的電子束轟擊被鍍材料，使其氣化并沉積在基片表面；此設備為在石英或其它材料表面沉積鎳鉻合金或其它單金屬、合金；設備由立式前開門水冷真空室、真空系統(tǒng)、工裝系統(tǒng)、電子束沉積系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、測量及監(jiān)控系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、輔助系統(tǒng)（機架、工藝氣路、壓空氣路、冷卻水路、附件）等組成。